產(chǎn)品介紹：
MEMS甲烷氣體傳感器是主要用于檢測環(huán)境中可燃?xì)怏w氣體濃度的MEMS氣體傳感器。MEMS甲烷氣體傳感器采用固體金屬氧化物半導(dǎo)體材料作為氣敏元件，SI基襯底.上的微熱板是采用MEMS工藝制作的。該甲烷氣體傳感器可把不同功能、不同敏感方向或致動(dòng)方向的多個(gè)傳感器或執(zhí)行器集成于一體。適用于除了惡劣環(huán)境外各種場合的甲烷氣體濃度檢測。
產(chǎn)品參數(shù)：
檢測氣體：甲烷氣體
可燃?xì)怏w測量范圍：0-10000ppm
回路電壓Vc：≤24V DC
加熱電壓VH：2.8V士0.1V AVorDC
負(fù)載電阻RL：可調(diào)
加熱電阻RH：80?土20?(室溫)
加熱功耗PH：≤80mW
敏感體電阻Rs：1K?~30K?
靈敏度S：RO/RS≥2
濃度斜率a：≤0.9
溫度：20°C士2°C
濕度：55%RH土5%RH
標(biāo)準(zhǔn)測試電路：VH:2.8V士0.1V，VC:5.0V士0.1V
標(biāo)簽:
MEMS氣體傳感器